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작성일 : 14-06-10 12:06
[신제품] HMS-3000R
 글쓴이 : 에코피아(…
조회 : 2,373  

HMS-3000R (New model)
- 에코피아가 새로 선보이는 HMS-3000R 모델은 기존 HMS-3000모델보다 전기적인 파라미터값을 좀 더 안정적이고,
   정밀하게 얻을수있습니다.
- 그리고, 완전히 새로 만들어진 소프트웨어는 고객들에게 새로운 분석 솔루션을 제공합니다.
  예를 들어, 기존의 IV, IR 그래프 외에도 자기장 변화, 온도변화 등에 따른 전기적인 파라미터 값의 변화를 파악할 수 있습니다.
 
 
홀 효과 측정 시스템은,
반도체 디바이스의 전기적인 특성파악에 필요한, 캐리어 농도(carrier density), 이동도(mobility),저항율(resistivity), 홀 계수(Hall Coefficient)등을 측정하는데 매우 유용한 장비 입니다. 따라서, 반도체 디바이스의 전기적인 특성을 측정하는데 매우 필수적인 장비 입니다. 에코피아의 HMS 시리즈는 정전류소스(constant current source), 반 데르 포 법칙(Van der Pauw echnique)을 이용한 단자 전환 장치, 저온(액체질소온도,77K) 측정 시스템, 자속밀도 인가 시스템 등으로 구성이 됩니다. 따라서, 홀 효과 측정에 필요한 모든 시스템(악세서리 포함) 을 완전한 풀셋으로, 합리적인 가격에 제공하고 있습니다. 그리고, 홀효과 측정장치에 대해서 국내외 특허를 취득하였으며, 전세계 대학, 연구소, 기업등 500여대 이상이 설치되었고, 고객들로부터 기술력을 인정받고 있습니다.
 
 
1. CHARACTERISTICS
 
1. 반도체 디바이스의 전기적인 특성을 파악하기 위해서 정밀성과 재현성을 확보.
정전류를 6단계로 나눠서 인가(1nA ~20mA) 함으로써 에러허용치를 최소화합니다.
4 point probing 방식의 유효한 반 데르 포 법칙(Van der pauw technique) 을 적용하여 측정의 정밀성을 보장 하였습니다.
 
 2.컴팩트한 데스크탑 디자인, 사용이 편리함.
작고 컴팩트한 자속밀도 인가 시스템과 저온(액체질소온도, 77K) 측정 시스템을 이용하여, 사용이 편리합니다. 다양한 종류의 샘플마운팅 보드를 통해서, 다양한 사이즈와 두께의 샘플시료를 측정할 수 있습니다.
5mm x 5mm ~ 30mm x 30mm 사이즈, 두께: 5.5mm 맥시멈(maximum).
 
3.전류 vs 전압 그래프, 전류 VS 저항 그래프.
HMS2000 모델에서는 이 기능을 지원하지 않습니다. HMS3000모델 이상 에서는 모두 이 기능을 지원합니다.
 
4.다양한 측정 결과 파라미터( characteristic parameter) 제공.
측정이 끝나면 한번에 다양한 측정 결과값이 자동으로 계산 되어서 s/w 프로그램에 다음과 같이 나타납니다.
Bulk & Sheet Carrier Concentration, 이동도(Mobility), 저항률(Resistivity), Conductivity, 홀 계수(Hall Coefficient), Magnetoresistance), Alpha(Vertical/Horizontal ratio of resistance) and etc.
 
 5.고객의 요청에 빠르게 대응합니다.
수리(repair), 기술적인 질문(technical question), 견적서(quotation) 요청에 최대한 빨리 답을 드리고 있고,
납기(lead time)는 2~4주 입니다.
 
 
2. PRODUCT CONSTRUCTION
 
1. 메인 바디 시스템 ( 정전류원 + 반데르포 단자전환 장치)
 



                                         Software for HMS-3000R (초기 측정화면)
 

                   I-V 커브, I-R 커브 페이지                                            전류 변화 vs 홀 전압 그래프.
 
 

               온도변화 vs 각 파라미터 값 그래프                                자기장 변화 vs 각 파라미터 값 변화
 
 
3. PRODUCT SPECIFICATIONS
 
1. Common Specifications
 1) General Factors
 
Input
Current
Resistivity
(Ω·cm)
Concentration
(1/cm3)
Mobility
(cm2/Volt·sec)
Magnetic
Flux Density(T)
Temperature
(K)
Measurable
Sample size
1nA
-
20mA
10-4~10-7
107~1021
1~107
0.27
0.31
0.37
0.51
1
Variable magnet
(0.27~1.0T)
77K
300K
 
Variable temp
(RT ~ 500dc)
SPCB series
5×5 ~
20×20mm
15×15 ~
30×30mm
Less than
2~5.5mm
thickness
sample
 
2) Sample Structure 3D of Measurement Sample
 
3) S/W Operation Evironment Windows 98 / ME / 2000 / NT / XP / VISTA
 
4) Data Index
 - Bulk, Sheet Carrier Concentration
 - Resistivity
 - Mobility, Hall Coefficient
 - Magnetoresistance
 - Alpha (Vertical/Horizontal ration of resistance)
 
5) Dimension
* Size : mainbody 360×300×105 mm (W×H×D)/magnet set 200×120×110 mm (W×H×D) - Weight : 7.7 kg
 
 
6) Materials for Measurement
Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, TCO(including ITO), AlZnO, FeCdTe, ZnO, etc., all of semiconductors can be measured (N/P-type)
 
 
4. CERTIFICATION OF THE PERFORMANCE
 
1. CE 마크획득 : Model# HMS2000 – 2004년 7월 1일
    CE 마크획득 : Model# HMS3000 – 2005년 3월 16일
    CE 마크획득 : Model# HMS5000 – 2009년
    CE 마크획득 : Model# HMS5300 – 2009년
    CE 마크획득 : Model# HMS5500 – 2009년
    특허 획득 : 홀효과 측정 시스템 – 2010년 1월 11일
    특허 획득 : 샘플 홀더(보드) 장치 – 2010년 3월 5일
 
 2. 경쟁사 제품과의 측정 데이터 비교.
 
CLASSIFICIATION
SAMPLE 1
SAMPLE 2
M
HMS-2000
A
HMS-2000
Nb (cm-3)
2.1×1016
2.1294×1016
-2.6694×1019
-2.6512×1019
μ (cm2/v·s)
298.2
318.37408
-54.121
-56.315
Rh (m2/C)
290.55
293.15
-0.23911
-0.23544
P (Ω·cm)
0.975
0.92077
4.3209×10-3
4.1825×10-3