:::ecopia:::
 
- HMS3000
- HMS3300
- HMS5000
- HMS5300
- HMS5500
- HMS7000
- 자석세트
- 샘플 마운팅 보드
- 오믹 컨택 물질
- ETCP2000
- EPS300
- EPS500
- EPS1000
- DARK BOX
- RTP1300
- 초고온용 홀 효과 측정시스템
- 포토닉 홀 효과 측정시스템
- 웨이퍼 프로파일러(wafer profiler)
- 엘립소미터(Ellipsometer)
- 반사계(Reflectometer)
- HMS-3000R
 
작성일 : 13-02-15 10:37
[신제품] 초고온용 홀 효과 측정 시스템
 글쓴이 : 에코피아(…
조회 : 4,573  

◆ 초고온용 홀 효과 측정 시스템

1) 특징
   - 가스유입이 용이한 초고온 홀 효과 측정 시스템 구현
   - 800℃ 이상의 고온인가가 가능한 홀 효과 측정용 Furnace 개발
   - 다양한 인입 가스의 유량 제어 시스템
   - 고온용 샘플 홀더 (800℃에서 컨택 유지)
   - 고온 인가용 온도 조절 시스템 (DC 전원)
     ※ 특정온도+가스 인가 조건에서, 전기적 특성 변화를 확인할 수 있는 반도체 신소재의 개발이 활발히 이루어지고 있다.
 
2) 적용 분야
   i) 연료전지 (고분자, 세라믹 전해질 등)
   ii) 가스센서 (휘발성 유기용매 등)
   iii) 광전극 및 광 센서용 (수소생산 및 저장)
   iv) 열전 소자용 반도체 등
 
3) 초고온용 히터 구성도
 
4) 초고용 Rod type RG-PBN heater
    - 강한 자속 밀도 (1.0T) 인가 가능
    - 균일한 온도 공급 가능
    - 직경 15mm
 
    - 강한 자속 밀도 (1.0T) 인가 가능
    - 균일한 온도 공급 가능
    - 직경 30mm
 
5) Common Specifications
1) General Factors
Input
Current
Resistivity
(Ω·cm)
Concentration
(1/cm3)
Mobility
(cm2/Volt·sec)
Magnetic
Flux Density(T)
Temperature
(K)
Measurable
Sample size
1nA
-
20mA
10-4~10-7 107~1021 1~107 0.55Tesla RT~1000℃
(최대 1200℃)
5×5mm
~
20×20mm
size.
Less than
2mm
thickness
 
2) Sample Structure
  - 3D of Measurement Sample
 
3) S/W Operation Environment
  - Window98/ME/2000/NT/XP/VISTA/Win7
 
4) Data Index
  - Bulk, Sheet Carrier Concentration
  - Resistivity
  - Carrier mobility, Hall Coefficient
  - Alpha (Vertical/Horizontal ratio of resistance)
 
5) Dimension
  * Main body
  - size : T.B.A (W×H×D)
  - Weight : T.B.A
  * Magnet
  - 전자석(Electro magnet)이 사용됩니다.
 
6) Materials for Measurement
   Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, TCO(including ITO), AlZnO, FeCdTe, ZnO,
   etc., all of semiconductors can be measured (N/P-type)