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작성일 : 13-01-21 17:12
[RTP] RTP - 급속 열처리 시스템
 글쓴이 : 에코피아(…
조회 : 3,796  

RTP (Rapid Thermal Processing system)  - 급속 열처리 시스템
 
에코피아의 RTP(Rapid Thermal Processor)는, 최대 4인치 크기의 웨이퍼를 빠른 속도로 승온 하여 열처리 할 수 있으며, 12개의 할로겐 램프를 이용하여 샘플전체에 균일하게 열처리를 할 수 있다는 것이 장점입니다.
특히, 사용하기 간편하며, 합리적인 가격에 제공하고 있으므로, 학교, 연구실 등에서 사용하기에 적합 합니다.
 
 
1. Model No : RTP-1300
 
Model# RTP-1300의 측면 그림
 
 
2. 제품의 특징
 
1. 12개의 램프(위 6개, 아래 6개)를 이요하여 전체적으로 고른 열처리가 가능.
2. 측정샘플(웨이퍼)의 평탄도(Flatness) 유지.
3. 컴팩트한 데스크탑 디자인, 합리적인 가격, 온도 컨트롤이 편리함.
4. 최대 샘플 사이즈 : Max. 4인치.
5. 할로겐 램프 가열 방식으로 챔버내 오염이 적다.
 
 
3. 제품 구성
 
1. 투명 Quartz 챔버.
  - 투명 Quartz 플레이트 위에 샘플 고정.
2. 온도 컨트롤 부분 - 다양한 프로그래밍을 통한 온도 설정 가능.
3. 가스 주입부(퍼지가스 등).
4. 냉각수를 통한 쿨링 방식.
 
 
4. Technical specs.
 
1. 최고 온도 : 진공상태(10e-3torr 조건)에서 Max. 1200℃.
2. 일반대기에서 Max. 300℃.
3. 압력(Pressure) : 10exp-3torr 최고 압력.
4. 승온 온도 : 1200dC/15초. 80dC/초.
5. 다양한 가스 주입이 가능함