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작성일 : 13-01-21 17:04
[매니플레이트] 매니플레이트
 글쓴이 : 에코피아(…
조회 : 3,543  

매니플레이트(Manipulator)는, 프로브스테이션에서 가장 중요한 부분중의 하나입니다. 아주 미세한 거리(micro distance)를 이동함으로써, 반도체 웨이퍼나 소자의 전극(electrode)에 컨택하여 전기적인 신호를 주고 받을 수 있도록 합니다. 에코피아(ECOPIA)의 매니플레이트 제품은 사용하기 매우 편리하고, 특히 프로브 암(probe arm)에 장착된 고탄성 플레이트(elastic plate)는, 프로빙 및 컨택시(특히 Z축 이동시) 샘플표면을 보호해 주는 역할을 합니다.
 
 
1. MODEL NO : EMP-7
 
 
 
 
2. MODEL NO : EMP-9
 
- 모델# EMP-7 과 EMP-9의 차이는, EMP-9의 경우는, X, Y, Z 이동시 손잡이에 마이크로미터(micrometer)가 있다는 것입니다.
 


3. MANIPULATOR AXIS AND PARTS
 
 

1. 프로브 암과 매니플레이트 몸체 연결 부분.
2. Fine 'Z' motion control
3. 'X' motion control
4. 'Y' motion control
5. 매니플레이트 몸체부분.
6. 자석 – 매니플레이트를 프로브 스테이션 베이스(base)에 고정하기 위한용도.
7. 프로브 암의 고탄성 플레이트 (Elastic plate)
8. 프로브 팁을 프로브 암에 연결하는 부분.
 
 
4. SPECIFICATIONS
 
ITEM SECTION SPECIFICATION
Manipulator
Model : EMP-7
Modle : EMP-9
Travel (X, Y, Z)
Screw Resolution
Repeatability
Footprint dimension
Weight
10×10×10 mm
5㎛ 정도
1㎛
70×28 mm
230g
- 프로브 암에 고단성 플레이트(elastic plate)가 장착됨으로써, 프로빙 및 컨택시 (특히 Z축 이동시) 샘플표면을 보호해 주는 역할을 합니다
- 자석을 이용해서 매니플레이트를 프로브 스테이션 베이스에 고정합니다
 
 
5. MODEL NO :  EMP-11 (NEW MODEL)
 
 

Technical specs
 1) X-Y-Z travel: 10 × 10 × 10mm
 2) 스크루 타입으로 프로브 암 고정.
 3) 3um resolution
 4) Leakage current level
   - less than 300 fA leakage current
 5) 고정 : 자석식 고정 또는 진공식 고정 (ON/OFF switch)
 
 
6. ACCESSORIES
 
1. Probe arm with cable
 
<Probe arm with BNC cable> <Probe arm with Triaxial cable>
 
2. Probe tip - 아래 팁 외에도 고객의 요청에 다라서 다양한 종류의 칩을 제공해 드립니다.