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작성일 : 13-01-21 16:14
[프로브 스테이션] EPS500
 글쓴이 : 에코피아(…
조회 : 4,050  

1. TECHNICAL SPECS COMPARISON AMONG STANDARD MODELS
 
  EPS300 EPS500 EPS1000 Remark
1) Chuck size
(척사이즈)
4inch
(100mm)
6inch
(150mm)
6inch
(150mm)
8inch
(200mm)
chuck은 옵션
2) Microscope
mount X, Y stage
(현미경 X, Y 이동)
O O O 옵션사항
3) 현미경 배율 90 ~ 1,000배 90 ~ 1,000배 90 ~ 1,000배 옵션사항
4) CCD camera O O O 옵션사항
5) Chuck ratation
(척 회전여부)
N/A 360˚ ratation 360˚ ratation  
6) X, Y, Z travel X : 50mm
Y : 50mm
Z : 12mm
X : 100mm
Y : 100mm
Z : 25mm
X : 100mm
Y : 100mm
Z : 40mm
EPS1000의 경우는 Z축
레버로 한번에 올려서
고정할 수 있습니다
7) 핫 척
(RT ~ 300℃)
O O O 옵션사항
8) 핫 척
(0℃ ~ 300℃)
O O O 옵션사항
히팅, 쿨링
9) 사이즈, 무게 EPS500 모델과
유사합니다
450×500×500(mm)
13~15kg
575×485×430(mm)
27kg
옵션사항에 따라서
차이가 납니다
 
 
2. PROBE STATION IMAGE AND TECHNICAL SPECS 
 

Model No : EPS500
 - 합리적인 가격(Reasonable price)과 컴팩트한 디자인
 - 4인치, 6인치, 8인치 등 척사이즈를 선택해서 주문 가능합니다.
 - 상온(RT) ~ 300℃ 온도 가변 핫척(hot chuck)을 옵션으로 제공합니다.
 - 0℃ ~ 300℃ 히팅 앤드 쿨링척을 옵션으로 제공합니다.
 - 최대 6개까지 매니플레이터(manipulator)장착 가능합니다.
 
Model No : EPS500
합리적인 가격과 컴팩트한 디자인
4인치, 6인치, 8인치 등 척(chuck) 선택가능.
핫척 제공 (RT ~ 300℃) 온도 가변형. 옵션.
핫척 제공(0℃ ~ 300℃) 히팅앤 쿨링척. 옵션.
최대 6개까지 매니플레이트(manipulator)장착가능.
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
Model No : EPS500
합리적인 가격과 컴팩트한 디자인
4인치, 6인치, 8인치 등 척(chuck) 선택가능.
핫척 제공 (RT ~ 300℃) 온도가변형. 옵션.
핫척 제공(0℃ ~ 300℃) 히팅앤 쿨링척. 옵션.
최대 6개까지 매니플레이트(manipulator)장착가능
고품질(High quality)의 현미경도 장착가능. 보시는 좌측 그림은 일본 올림푸스제 BXFM 모델입니다.
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
Model No: EPS500
좌측 그림은, EPS500 모델에, 0℃ ~ 300℃ 히팅앤 쿨링척을 장착한 것입니다.
칠러 (Chiller), 드라이어(dryer), 에어 컴프레샤 (air compressor)등이 함께 설치됩니다.
현미경은 3안, 120배 배율로 구성하였습니다.