:::ecopia:::
 
- HMS3000
- HMS3300
- HMS5000
- HMS5300
- HMS5500
- HMS7000
- 자석세트
- 샘플 마운팅 보드
- 오믹 컨택 물질
- ETCP2000
- EPS300
- EPS500
- EPS1000
- DARK BOX
- RTP1300
- 초고온용 홀 효과 측정시스템
- 포토닉 홀 효과 측정시스템
- 웨이퍼 프로파일러(wafer profiler)
- 엘립소미터(Ellipsometer)
- 반사계(Reflectometer)
- HMS-3000R
 
작성일 : 13-01-21 10:45
[홀 효과 측정] HMS-3300
 글쓴이 : 에코피아(…
조회 : 5,954  

- Model 번호 : HMS-3300/ HT55T3
- 가변 온도 시스템 : RT ~ 300℃
 
- 수동으로 온도 컨트롤.
- Model 번호 : HMS-3500/ HT55T5
 
- 가변 온도 시스템 : RT ~ 500℃
- 수동으로 온도 컨트롤.
 
* HMS-3500/HT55T5 모델은 상온~ 500도까지 가능합니다. 
- 온도 범위 외에는 HMS-3300/HT55T3 모델과 스펙이 같습니다.
 
 
1. CONSISTS OF
 
1. 메인 바디 시스템 (HMS-3000 모델의 메인 바디와 동일)
- 정전류 인가시스템 + 반데르포 단자전환 장치.
 

 
2. 0.55Tesla 자석 세트 (Model 번호: HT55T3, 300도까지), Model 번호: HT55T5, 500도까지
 

자속 밀도(Magnetic flux density) : 0.55Tesla(+/-0.03T)
원형 자석 사이의 간격(Gap between both round magnets) : 26mm / 원형 자석 지름(Round magnet diameter): 50mm
측정 온도(Measurable temp): RT ~ 300℃ . 분해능(resolution): 0.1℃
(HT55T5 모델은 RT ~ 500℃ 까지임)
이 자석 세트는 HMS-3000 메인 바디에만 사용 가능합니다.(HMS-5000에는 사용불가)
- 소형 챔버를 설치 한 후 퍼지가스(Purge gas) 를 흘려 주면서 측정할 수 있다. 가스조절 밸브를 설치 할 수 있음.
- 측정시 챔버를 닫고 측정을 해야 합니다. 챔버내를 N2가스 등으로 치환 시킨후 측정하면 고온에서 산화를 방지할 수 있습니다. 
또한 챔버를 닫고 온도를 올리면 챔버내를 일정한 온도로 유지할 수 있습니다. 챔버를 열고 측정을 할 경우, 자석이 자동으로 움직 이면서 만들어지는 공기 흐름이 샘플과 샘플보드를 냉각 시킬 수 있기 때문입니다.
 
이미 HMS-3000을 구매해서 사용중인 고객께서 고온(최고 300℃,500℃) 에서의 온도변화 측정에 관심이 있으시다면, 이 자석 세트(Model 번호: HT55T3, HT55T5) 만 구매해서 사용하시면 됩니다.
 
2. S/W PROGRAM
 
HMS-3300(HMS-3500) 소프트웨어 메인 테스트 페이지
 
HMS-3300(HMS-3500) 소프트웨어 (I-V 커브, I-R 커브 측정 페이지)
 
3. PRODUCT SPECIFICATIONS
 
1. Common Specifications.
  1) General Factors
Input
Current
Resistivity
(Ω·cm)
Concentration
(1/cm2)
Mobility
(cm2/Volt·sec)
Magnetic
Flux
Density
(T)
Temperature
(K)
Measurable
sample size
1nA ~ 20mA 10-4 ~ 107 107 ~ 1021 1~ 107 0.55Tesla only 상온 ~ 300℃
상온 ~ 500℃
5×5mm ~ 20×20mm 사이즈.
두께는 최대 5.5mm까지.
 
  2) Sample Structure
    - 3D of Measurement Sample
  3) S/W Operation Environment
    - Windows98/ME/2000/NT/XP/VISTA/Win7
  4) Data Index
    - Bulk, Sheet Carrier Concentration
    - N/P type 결정.
    - Resistivity
    - Carrier mobility, Hall Coefficient
    - Magneto-resistance
    - Alpha (Vertical/Horizontal ratio of resistance)
  5) Dimension
   * Mainbody
     - Size : 360×300×105 mm (W×H×D)
     - Weight : 7.7 kg
   * Magnet with temperature controller (Model#: HT55T3, HT55T5)
     - 대략15kg. 사이즈: 14 x 67 x 11(cm)
  6) Materials for Measurement
    Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, TCO(including ITO), AlZnO, FeCdTe, ZnO, etc.,
    all of semiconductors can be measured (N/P-type)